F09600 - SEMI F96 - Specification for Port Configuration of Canisters to Contain CVD Precursors StdPbc-0709 This guideline was technically approved

This guideline was technically approved by the Global Facilities Committee and is the direct responsibility of the Japan Facilities Committee

これらスタンダードは，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これら特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。したがって，プロセスツールポートと，コンベヤのような連続した直接

本スタンダードは，global Photovoltaic Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww

SEMI E47-0301 (technical revision)

SEMI MF1725 — Practice for Analysis of Crystallographic Perfection of Silicon Ingots

F09600 - SEMI F96 - Specification for Port Configuration of Canisters to Contain CVD Precursors StdPbc-0709 This guideline was technically approvedThis specification was technically approved by the Global Gases Committee and is the direct responsibility of the North American Gases Committee. Current edition approved by the North American Regional Standards Committee on April 22, 2004. Initially available at www. semi. org June 2004; to be published July 2004. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met.