E00100 - SEMI E1 - プラスチックおよびメタルのオープンウェーハキャリアの仕様 Revision:SEMI E1-1110 - Superseded SEMI S13 — Environmental

SEMI S13 — Environmental

approaches suitable for use in smaller facilities are outlined in Related Information 1

Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

·    Metrology equipment

flat panel display (FPD)画質検査におけるムラの目視検査に近いテスト条件に対する，SEMI D31で導出された方式の適用方法を定義する。

E00100 - SEMI E1 - プラスチックおよびメタルのオープンウェーハキャリアの仕様 Revision:SEMI E1-1110 - Superseded SEMI S13 — EnvironmentalNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI 3100 mm125 mm150 mm200 mm 3100 mm125 mm150 mm 125 mm 200 mm Referenced SEMI Standards (purchase separately) None.