D01700 - SEMI D17 - FPDガラス基板搬送用カセットの機械的仕様 StdPbc-0910 automotive

automotive

This Standard establishes the guide for selecting "Specifications for Dimension of Components for Surface Mount Gas Distribution Systems

SEMI MF1153-1106 (technical revision)

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D01700 - SEMI D17 - FPDガラス基板搬送用カセットの機械的仕様 StdPbc-0910 automotiveGlobal Flat Panel Display Equipment CommitteeNorth American Flat Panel Display Committee19991215North American Regional Standards Committee20001SEMI On Line2000219989 FPD SEMI D18 Referenced SEMI Standards SEMI D18 Specification for Cassettes Used for Horizontal Transport and Storage of Flat Panel Display Substrates SEMI E15 Specification for Tool Load Port