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C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded 来源于较低质量等级助熔剂的杂质元素或碳会影响分析数据的准确性，建议使用高纯度助熔剂。
C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded 来源于较低质量等级助熔剂的杂质元素或碳会影响分析数据的准确性，建议使用高纯度助熔剂。
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Description
来源于较低质量等级助熔剂的杂质元素或碳会影响分析数据的准确性，建议使用高纯度助熔剂。
ESDによる製品，レチクル，装置の損傷を低減する。
SEMI E140-0305 (first published)
and Safety Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
本法は，ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。
C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded 来源于较低质量等级助熔剂的杂质元素或碳会影响分析数据的准确性，建议使用高纯度助熔剂。global Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1984200211 : (Si2H6) Referenced SEMI Standards SEMI C1 Specifications for Reagents SEMI C3 Specifications for Gases
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 - Superseded 来源于较低质量等级助熔剂的杂质元素或碳会影响分析数据的准确性，建议使用高纯度助熔剂。){kind=link}
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