F05500 - SEMI F55 - Test Method for Determining the Corrosion Resistance of Mass Flow Controllers Revision:SEMI F55-0600 (Reapproved 0307) - Superseded 1 This Guide provides a

1  This Guide provides a description of tools that can be used to determine these key parameters before

buried layer

装置とミニエンバイロメントのロードポート部の部品

SEMI E171-1215 (technical revision)

これらの測定が初めて広く使われる様になって以降，プロセス技術やウェーハ作製法が変化したことは，テスト片構造作製と解析方法の変更が必要なことを示している。本試験方法の目的は，この変更を明確にすることである。それは，測定，フラットバンド電圧―絶縁膜厚法より得たゲート電極有効仕事関数データの測定，解析と報告を含む。

F05500 - SEMI F55 - Test Method for Determining the Corrosion Resistance of Mass Flow Controllers Revision:SEMI F55-0600 (Reapproved 0307) - Superseded 1 This Guide provides aThis Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on July 6, 2018. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in December 2018; originally published June 2000; previously published April 2012. A mass flow controller (MFC) is often used to control corrosive gases under unfavorable conditions. This Test Method is intended to