E01200 - SEMI E12 - Guide for Standardized Pressure, Temperature, Density, and Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers StdTpc-LCD Backlight Unit SEMI E126-0704 (technical revision)

SEMI E126-0704 (technical revision)

13-0698 (Reapproved 0615) - Test Method for Measurement of the Leakage Current in Leadframe Tape

1-1000 (technical revision)

This procedure describes a method to determine the MFC conversion factor and function between two gases

本文書の目的は，半導体産業で使用されるメチルエチルケトンに対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。本文書は，メチルエチルケトンに対して要求が認められたグレードのガイドラインも示す。ガイドラインの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

E01200 - SEMI E12 - Guide for Standardized Pressure, Temperature, Density, and Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers StdTpc-LCD Backlight Unit SEMI E126-0704 (technical revision)1 Purpose 1. 1 This Guide is intended to provide a common basis for values of standard temperature and pressure when gas flow is expressed in standard volumetric units. 2 Scope 2. 1 This Standard provides a common basis for communication between manufacturers and users. This Standard is applicable to all gases and vapors used in semiconductor processing. Referenced SEMI Standards (purchase separately) None. Revision History SEMI E12 0421 (technical